二手 SEMIX TR 6133UD #9284320 待售

SEMIX TR 6133UD是一種高性能光刻設備,具有優異的特性分辨率、低失真、高工藝穩定性和低化學廢棄物。它是一個完全自動化的可編程系統,旨在在執行高級光刻過程時將時間和人工成本降至最低。光敏裝置采用先進的真空曝光機，利用光曝光調制作為主要的刀具技術。該資產能夠以高精度、高可重復性和低熱失真來暴露高級特性。增強的分辨率和高工藝穩定性使TR 6133UD非常適合創建極小且精確的特征大小。與傳統的光學系統不同,SEMIX TR 6133UD最顯著的特點是能夠提供先進而精確的特征尺寸控制。該模型采用專門設計的多層介電沈積光學面罩，使光刻膠能夠暴露於更高的曝光頻率，從而實現更精細的尺寸到nm的特性。TR 6133UD還設計用於盡量減少光刻過程中的化學廢物。這是通過利用水和表面活性劑的組合來減少化學廢物來實現的。此外，設備采用閉環再生循環，最大限度地降低再生過程中交叉汙染的風險，提高工藝產量。SIMIX SEMIX TR 6133UD旨在促進最先進的光刻工藝，包括DWELL（直接寫入電子光刻）技術。該系統與多種塗層和自旋塗層解決方案兼容,可用於薄和厚基板的特殊薄膜塗層。該設備還具有內置溫度和濕度監控的高級功能,使用戶能夠確保每次都在精確的條件下執行其流程。功能強大、自動化的編程機讓用戶能夠輕松控制溫度、曝光時間和濕度等參數，從而獲得優越的效果。TR 6133UD光刻工具是一種先進、高度精確、可編程的工具，旨在滿足先進光刻工藝最苛刻的需求。該資產提高了工藝穩定性，減少了化學廢物，確保了卓越的特征分辨率和準確性。