二手 SEZ / LAM RESEARCH 4300 #293652063 待售
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ID: 293652063
優質的: 2006
Spin processor
Filter fan unit
CO2 Gas supply
No robot
2006 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH 4300光刻設備是用於半導體制造加工的專用工具。該系統利用光刻，這一過程涉及將所需的圖樣從掩模轉移到半導體基板上。SEZ 4300單元設計用於在基板上快速、準確地生產光敏塗層。LAM RESEARCH 4300機采用高功率光源和快門曝光臺。此曝光階段利用LED二極管陣列,阻止和解除對基板的曝光。這個曝光階段非常精確，分辨率為15微米，可重復性為+/-3微米。曝光階段也設計得極快，快門速度高達50微秒。4300因其最低限度的維護要求而得到增強。該工具具有內置的清潔資產，並使用真空卡盤進行晶圓處理。這消除了手動清洗步驟，減少了汙染的可能性。SEZ/LAM RESEARCH 4300型號還具有前置旋轉塗層組件。組件在基板上提供一致、均勻的光刻膠塗層。自旋塗層組件最大限度地減少浪費，防止形成不均勻的塗層厚度，保持低光刻成本。SEZ 4300設備包括一個基於PC的軟件包，可以配置為執行特定的流程和配方。該軟件與LAM RESEARCH 4300的精密組件一起，提高了生產的可重復性和速度，確保了更高質量的光敏塗層。總體而言，4300光致抗蝕劑系統是一個先進和可靠的單元，旨在快速和精確地在基板上制造光致抗蝕劑塗層。機器的快速曝光速度和精確的曝光控制產生一致的和可重復的光刻膠模式與最低限度的維護要求。這使得SEZ/LAM RESEARCH 4300成為半導體生產的寶貴工具。
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