二手 SEZ / LAM RESEARCH 4300 #293662192 待售

製造商
SEZ / LAM RESEARCH
模型
4300
ID: 293662192
優質的: 2006
Spin processor Filter fan unit CO2 Gas supply No robot 2006 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH 4300光刻設備是為開發高端半導體器件而設計的最先進的光刻系統。該裝置具有一個大的、高分辨率的數字掩模對準器,數值孔徑為0.5,場徑為12.7微米,非常適合設備制造。該機還包括一個用於沈積光刻材料的高精度、自清潔分配單元和一個用戶友好的軟件套件來控制整個過程。該工具采用多步驟工藝來沈積和繪制光刻材料。首先,在基板上分配一層光致抗蝕劑,然後用計算機引導的激光將光致抗蝕劑材料暴露在所需的圖樣上。接下來,基板被暴露在強烈的紫外線下,以便使暴露的光致抗蝕劑材料變硬。最後,對底物進行一系列的化學處理,以提高最終模式的分辨率。SEZ 4300旨在為設備制造提供卓越的分辨率和準確性。該資產符合行業標準的光刻膠協議,可支持負極和正極光刻膠輪廓要求。該模型還提供了同時執行晶圓級和芯片級光刻以及相同模式的多次運行的能力。LAM RESEARCH 4300設備確保了一致和可重復的處理。該系統具有內置的數據記錄功能,可用於監視流程參數和確保一致性,以及檢測任何超出公差的條件。此外,該單元還配備了精密但易於使用的功能,可簡化蝕刻、光刻和沈積過程。總體而言,4300是制造先進半導體器件的理想選擇。憑借其高分辨率的圖像處理能力、健壯的分配單元和先進的軟件套件,該機器可以為最苛刻的光刻應用提供經濟高效的解決方案。
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