二手 SHANGHAI CENTURY SC2645 #9269006 待售

上海世紀SC2645是一種先進的光刻塗層和曝光設備，設計用於先進的基於光刻的半導體制造工藝。適用於濕蝕刻和幹蝕刻工藝，可處理直徑達8英寸的晶片。SC2645光敏系統由幾種不同的成分組成。該單元的核心由濕噴漆和毛細管組成。塗層由不銹鋼外殼、噴槍和晶圓級傾斜機構組成。噴槍有一個可調節的噴嘴，可以調節角度和目標噴射的顆粒沈積。毛細管為噴槍提供了一致、受控的光敏材料流動。該機還包括兩個光刻曝光單元，可以同時處理接觸和接近曝光。這些曝光裝置配有激光束掃描儀，能夠以極好的精度和精確度生成圖樣。掃描儀可以調整光強度、焦點、對準角度、曝光時間和光束長度，從而產生優化曝光。上海世紀SC2645工具的烘幹站是一個配備紅外溫度計和高容量風扇的高速熱板烤箱。烤箱可設置為攝氏90至330度的溫度範圍，幹燥持續時間由可調計時器控制。這樣可以確保晶片均勻暴露和幹燥,並提供一致的結果。為了完成光刻塗層工藝，SC2645資產有一個化學發展室配有一個附著的過濾泵模型。腔室加壓，可加熱至200攝氏度，加速發展。過濾泵有助於確保低質量的工程不會進入過程，從而改善質量控制。整體設備還包括過濾器單元、真空泵和冷卻系統。所有這些組件的設計都是為了提供一個一致且經濟高效的光刻工藝，能夠為先進的半導體制造持續產生高質量的結果。