二手 SHANGHAI SSB300/30P #9375087 待售

SHANGHAI SSB300/30P是一種光刻設備，其設計目的是使微電子器件的制造具有精確的掩模尺寸。對於需要高分辨率、嚴密過程控制的工藝和應用，如高密度基板和復雜的集成電路設計，它是理想的選擇。該系統結合了兩種技術，即軟烘烤、有機光刻和電子束光刻，用於將圖案圖精確轉移到基板上。所使用的光致抗蝕劑是一種光敏材料，在暴露於光或能量下發生化學反應。電子束光刻用於將光刻膠暴露於一束投射到基板上的電子束，以便形成圖樣。上海SSB300/30P采用光學曝光頭與可調透鏡在基板上精確的圖案.對於一定範圍的聚焦水平和光斑大小,該調節器是可調節的。然後在受控溫度下對基板上的光刻膠進行軟烘烤，使表面在制作圖樣之前沒有缺陷。然後調整曝光頭以符合基板的設計要求，並將圖樣投射到基板上。曝光過程完成後，隨後進行曝光後烘烤操作，將圖樣設置為光刻膠。對曝光後烘烤溫度和時間進行了優化，使其在基板上形成圖樣。然後對基材進行洗滌或蝕刻，使基材上形成的圖樣呈現出來。上海SSB300/30P提供卓越的分辨率和準確性與先進的控制單元，確保一個精確的，可重復的過程。它具有自動化的原位清潔機，以確保無殘渣基板和易於維護，以最大限度地提高正常運行時間。該單元還提供了一系列的曝光時間，以滿足不同基材和掩模模式的要求。上海SSB300/30P是微電子制造的理想解決方案，具有高度可靠的工藝和精確的制圖能力。它的性能、靈活性和耐用性使其成為復雜復雜的設備制造的首選。