二手 SHINCRON BIS-1300CNN #9263768 待售
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ID: 9263768
優質的: 2008
Vacuum coater
(2) Cryo pumps
(2) EB Sources JEOL 270
Substrate heating
Crystal thickness monitor
Optical thickness monitor: OPM-Z1
RF Ion source: NIS-175
2008 vintage.
SHINCRON BIS-1300CNN是一種精密光刻設備,為現代晶圓加工設備提供卓越的蝕刻輪廓控制。這個先進的系統兼具化學和激光抵抗處理能力,使用戶可以靈活地用一個單元處理各種晶圓類型。BIS-1300CNN利用一種獲得專利的非接觸噴塗方法,在各種基板上精確應用光敏塗層,如薄膜晶體管(TFT)、矽片和其他相關基板材料。這種非接觸工藝為一致的蝕刻輪廓和優越的光刻粘附提供了均勻的表面塗層。該機還提供了對溶液噴霧壓力的精確控制,實現了可重復的光刻和蝕刻結果。先進的光刻膠系統具有一系列工藝參數,可以很容易地調整以優化塗層,以滿足用戶特定的要求。例如,操作員可以調整外部加熱、物料流動、溶液噴霧參數、基板溫度和分配寬度等變量,以實現所需的處理結果。此外,供應商提供的軟件允許實時過程監視和控制,從而減少了不必要的停機時間。SHINCRON BIS-1300CNN配有一個設計精巧的機櫃,可容納工具的核心組件和軟件。其緊湊的設計能夠以最小的中斷程度集成到現有的清潔室環境中。資產還包括各種自動化功能,使用戶能夠實現可重復的國際成果。其中包括具有自動加壓載荷、靈活、雙通道正時的動態容器模型,以及自再生磁濾波設備。BIS-1300CNN光刻系統為用戶提供了一個可靠、高效的晶片處理平臺,並具有可重復的結果。流程設置簡單明了,集成功能使用戶能夠輕松控制和調整參數以實現優化處理。SHINCRON BIS-1300CNN具有先進的性能水平和先進的功能,是滿足現代晶圓加工需求的理想選擇。
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