二手 SHINCRON RAS-1100C #293762586 待售
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SHINCRON RAS-1100C是一種最先進的光刻設備。它是專為光刻加工而設計的，是一種用於制造微電子器件的化學蝕刻。它能夠在廣泛的基材中產生高分辨率模式。該系統配有堅固耐用的自旋工藝室，能夠在200 kg壓力下旋轉光阻底物。該腔室的設計目的是為數百種基板的批次提供一致的結果，即使在處理具有不同光刻膠類型和厚度的基板時也是如此。腔室設有高精度機械級，可將基板定位，精度為7 μ m。這樣可以確保暴露的模式具有嚴格的分辨率。該單元還配備了先進的計量機，可以測量光刻膠層的特性，如其厚度、蝕刻速率、光學特性等。此工具允許用戶密切監視流程參數並根據需要對其進行調整。RAS-1100C設計具有用戶友好的界面,可以輕松設置和編程資產。該模型配備了廣泛的食譜庫，用戶可以選擇和調整這些食譜庫，以獲得所需的結果。此外，功能強大的軟件套件可用於創建自定義配方，允許用戶微調流程。SHINCRON RAS-1100C是一種強大可靠的光刻設備，可用於在各種基板上產生精確的微電子圖樣。它設計易於使用,並提供出色的靈活性和性能。
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