二手 SHOWA SFE-6130D #9020782 待售

SHOWA SFE-6130D光刻設備是一種全自動、集成的多級工藝,旨在開發、設計和蝕刻電子元件,為各種應用創建集成的微電路。該系統利用電化學、熱學和化學工藝相結合，創造出超細、高分辨率的微結構。SFE-6130D包括一個光源、一個掩蔽/照明單元、一個光刻版打印頭、一個開發人員、一個檢查員和一個介質（蝕刻介質）處理器。遮罩/照明單元包含精確的光學元件,可將光源中的光精確聚焦到安裝在照相圖像舞臺上的電子元件上。然後,光致抗蝕劑打印頭應用對光敏感的材料（光致抗蝕劑）,以選擇性地繪制電子元件區域的圖樣。光致抗蝕劑一旦塗上，就會預先烘烤並暴露在紫外線下，以降低非照明區域的溶解度（蝕刻性）。然後使用顯影劑去除光刻膠的非照明區域，只留下所需的區域。為了驗證光刻圖樣的質量，通常使用檢查器檢查圖樣是否有缺陷或其他缺陷。最後一步是從電子元件中蝕刻掉不需要的材料，創建所需的微觀結構。對於此步驟，蝕刻介質處理器提供了一種蝕刻溶液，如鹽酸，用於化學蝕刻掉不需要的材料。該單元還提供了一個可選的蝕刻後幹燥站和表面調整機，用於表面清潔和精加工。總體而言,SHOWA SFE-6130D光刻膠工具設計用於可靠、高質量地生產電子元件,同時保持嚴格的公差和高分辨率。光刻工藝提高了設計的靈活性，提高了生產效率，提高了制造成本。資產還通過其最先進的集成流程模型提供自動化流程的額外好處。