二手 SIPREL TR 15 #9287735 待售

SIPREL TR 15是用於微電子和MEMS器件開發的一種特殊類型的光阻技術。該技術由強、耐化學、高性能的光敏樹脂和先進的顯影劑溶液組合而成。用於TR 15的感光樹脂是用專有添加劑和輻射敏感化合物配制的。它在暴露過程中表現出極佳的幹蝕蝕性，對大多數基材的附著力極佳，收縮和紫外線反射較低。這種樹脂的關鍵特點是其高附著力和暴露於輻射中。這使得光刻膠設備適合於多種不同類型的高性能微電子應用。SIPREL TR 15光刻膠系統兼容許多常見的發展溶劑，包括溫DI水、IPA、NMP。光致抗蝕劑可抵抗多種非揮發性化學物質，包括醇、石油蒸餾物和堿。制備了對紫外線不敏感、無腐蝕抑制劑的顯影劑溶液，以實現快速、高分辨率的顯影，表面磨損最小。光致抗蝕劑與大多數標準閾值曲線兼容，抵抗大多數種類的酸，包括氫氟酸和硫酸。該裝置還被設計為具有高縱橫比的可靠光刻性能。盡管光刻機與廣泛的制造工藝高度兼容，但在極端環境下，如高溫和應力情況下也表現出優越的性能。就其光掩模兼容性而言，TR 15光致抗蝕劑被設計成能夠與正負光掩模圖案配合使用。無論使用何種輻射頻率或劑量,該工具的結果都是一致的。此外，當暴露於不同強度的紫外線時，該資產還提供了更好的附著力和更好的分辨率。總體而言,SIPREL TR 15非常適合需要高性能光刻系統的應用。該技術具有出色的分辨率、抗輻射性、耐幹蝕刻性和附著力,以及與各種基材和化學處理的兼容性。因此，該模型在許多微電子、MEMS和其他制造應用中得到了廣泛的應用。