二手 SITE SERVICES Tractrix XP #9080482 待售
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SITE SERVICES Tractrix XP是一款先進的成像設備,旨在為用戶提供精確、高分辨率的光刻膠圖樣成像。該系統采用Tractrix XP成像算法,為創建高分辨率和對比度的光阻圖樣進行了優化。該單元利用一種結構獨特的激光器,產生一束相幹光束,在光掩模上掃描,以便在成像過程中曝光聚合物薄膜。激光束產生一個與光掩模圖案設計相對應的圖案。SITE SERVICES Tractrix XP機器利用先進的光學器件來優化光刻膠圖樣的成像配置。這些光學元件包括一個框架陣列,用於確保光束在整個成像場上均勻照亮。光學器件還包括激光光圈,這有助於最大限度地減少像差和允許更精確的曝光。此外,光學設備還包括光柵掃描儀,用於快速掃描激光光束,確保光束和光掩碼的精確對準。成像過程從將聚合物膜置於真空卡盤開始。這種真空卡盤為成像過程中的聚合物膜提供了一個穩定的平臺。然後使用幀陣列均勻地照亮薄膜,然後使用激光光圈來最小化像差。然後使用光柵掃描儀掃描光掩體上方的激光束,並完成曝光。曝光完成後,將處理感光膜以創建所需的圖樣。加工包括加熱和冷卻聚合物薄膜,以及在適當的溶劑中攪拌薄膜,以便蝕刻掉聚合物薄膜的暴露部分。薄膜的其余部分對應於嵌入在光掩模中的設計。Tractrix XP成像工具是產生分辨率和對比度較高的光刻膠圖案的寶貴工具。該資產的先進光學和精確激光成像功能使用戶能夠創建高度精確的圖樣,而無需進行後圖像處理。因此,該模型是從事各種光致抗蝕劑工藝的人員的基本工具。
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