二手 SITE SERVICES Tractrix XP #9194176 待售

SITE SERVICES Tractrix XP
ID: 9194176
優質的: 2005
PI developer and coater 2005 vintage.
SITE SERVICES Tractrix XP是一款先進的自動化光刻設備,旨在為半導體制造設施提供創新且經濟高效的曝光解決方案。Tractrix XP提供了高度的準確性、可重復性和優化的過程效率,以降低生產成本。該系統由基板處理模塊和曝光模塊組成。基板處理模塊的設計使基板具有極高的精確度.最先進的機械魯棒模塊具有兩個高速級,可以執行x-y平移、旋轉和線性或樞軸晶圓對齊運動。該模塊可確保高達0.001度的準確度和高達0.01度的可重復性,從而實現光刻過程中光掩模的精確對準和配準。曝光模塊是一種綜合輻射源,用於在基板上施加紫外線。該裝置采用鐘形集成室,進一步減少鏡片失真,提供更好的精度和可重復性。配備先進的反射鏡和反射鏡,SITE SERVICES Tractrix XP將精確劑量的紫外線輻射傳遞到基板上。源是可調的,可以設置在所需的分辨率和強度水平,以滿足特定的工藝要求。Tractrix XP還具有許多其他優點,例如環境控制機器、噴霧冷卻工具、安全傳感器和校準資產。該模型還被設計為與其他一些自動化系統兼容,從而進一步擴大了其多功能性。最後,SITE SERVICES Tractrix XP提供了最先進的光刻能力,實現了成本效益高和精確的光刻工藝。高精度、可重復性和與其他系統的兼容性使其成為任何半導體制造設備的理想選擇。
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