二手 SOCUDO RF3S #9392387 待售
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SOCUDO RF3S是包含在Resist Embedded Core Evolver系列產品中的一種光阻設備,用於創建納米式集成電路。該系統設計用於化學放大的陽性抗性混合物。RF3S利用暴露敏感性使分辨率水平比典型的商用抗蝕劑裝置精細得多。SOCUDO RF3S抗蝕機的特點包括分辨率小至30納米、抗工藝變化性能優異、大面積成像應用圖像反轉顯著等。同時,RF3S工具還產生了具有優異線寬和邊緣線性分辨率的平滑側壁輪廓。SOCUDO RF3S資產的暴露過程具有深層紫外線源,有助於最大限度地減少暴露遮罩特征時可能發生的駐波。這種抗蝕劑模型還設計具有高度的透明度,從而允許更廣泛的曝光強度和層厚度。此特征使設計工程師能夠調整曝光時間,以在抗蝕層中獲得所需的電阻值。RF3S設備可用於單層和雙層暴露過程,在同一暴露過程中可實現多種材料。這使得在實現特定設計的阻力配置文件時具有顯著的屬性靈活性。SOCUDO RF3S抵抗系統是尋求突破芯片制造界限的制造商的首選。它使他們不僅能夠產生小至30納米的特征,而且能夠實現和保持精確的抗拒輪廓,具有無與倫比的一致性水平。其出色的透明度還意味著制造商可以確信其設計在整個芯片上具有一致的厚度。由於這些原因,RF3S系統被廣泛用於生產各種行業的半導體芯片,從消費電子到航空航天和國防。
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