二手 SOKUDO DT-3000 #9389814 待售
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ID: 9389814
SOH Coater
Resist / Poly spin coater
(4) CUP
(12) PCDH
(6) CP (4) CUP
(12) PCDH
(6) CP SOH Coat.
SOKUDO DT-3000是專為生產電子電路和其他相關元件而設計的光刻設備。該系統采用復雜的三級光刻膠曝光工藝,實現了圖案層的高精度和極精確的配準。該單元以與有機溶劑混合的電解質開始。選擇有機溶劑是因為它們的性質,如低揮發性和良好的電導率。混合電解質散布在感光基板上,如環氧或聚酰亞胺表面。表面再暴露於三種不同波長的光(UV,可見和近紅外)。光致抗蝕劑對紫外線具有抗性,對可見光高度敏感,對近紅外光具有滲透性。當UV輻射撞擊光致抗蝕劑並到達聚合物基質時,它開始在聚合物鏈之間形成交聯。可見光環繞聚合物鏈條,形成與聚合物主鏈結合的自由基,而近紅外光則允許反應產物在基體中擴散,直到光致抗蝕劑完全固化。在暴露於三種不同光源後,光致抗蝕劑在顯影劑溶液中發展。顯影劑溶液專門針對聚合物鏈條,去除暴露於紫外線和可見光的鏈條,產生所需電路模式的精確拷貝。一旦顯影劑溶液被移除,基板就準備好下一步的過程。光刻機具有高精度、精確度和重復性,非常適合生產最復雜的電子元件和電路。該工具還可用於其他各種應用,如抗打印和表面塗層。DT-3000快速、高效、可靠和創新,是任何生產環境的理想選擇。
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