二手 SOKUDO RF3 #293609630 待售

SOKUDO RF3是SOKUDO公司開發的用於半導體制造應用的最先進的光刻設備。光致抗蝕劑是制造各種半導體器件所必需的材料。它是一種光聚合物，在某些波長的光照照下會發生物理變化。這使得它可以用作遮罩，以保護半導體表面的某些區域不受化學蝕刻和其他處理步驟的影響。SOKUDO RF 3光刻膠系統使光刻膠在半導體晶片上的應用能夠精確、精確地產生具有低至亞微米範圍特性的電路。RF3單元由兩個主要組件組成：光刻塗層機和曝光工具。光敏塗層資產用於將光敏塗層塗在晶片表面上。它可以處理直徑達200毫米的晶片，並允許通過其廣泛的分配和噴霧參數進行精確的應用控制。這樣可以確保晶片上塗層的浪費和準確的均勻性。曝光模型用於將光刻膠覆蓋的晶片暴露於光。它具有最大的吞吐量,具有強大的自動化功能,便於暴露復雜的模式掩碼。它具有X-Y定位和角度調節功能，結合LED和激光光束源以實現動態曝光操作。這些功能可實現快速、準確的曝光,圖像分辨率可降至10 nm。RF3設備的這兩個主要部件的組合使半導體晶片上的亞微米特性的制造能夠滿足當今器件技術的嚴格要求。該系統可靠性高,故障率極低,結果可重復性好,是任何高精度設備制造需要的理想選擇。