二手 SOKUDO RF3 #79692 待售

SOKUDO RF3是一種光刻設備,它將高精度處理與創建復雜形狀和圖案的能力相結合。用於半導體晶圓制造、光掩模、液晶顯示器等領域。光致抗蝕劑是被光選擇性去除的材料。使用這種材料，可以在各種基材上創建復雜的圖案和形狀。SOKUDO RF3采用深層紫外線固化和光刻膠非接觸曝光。它具有高精度、自動化的曝光過程，可以適應一系列基板，包括光掩模、液晶面板和石英或玻璃等其他基板。由於其高分辨率,自動曝光工藝旨在為陣列制作過程提供高精度。RF3還得益於真空氣氛和雙面光掩模。真空大氣層有助於減少灰塵和其他汙染物，而雙面光掩模則確保在基板的兩側保持光致抗蝕劑圖樣。此外，系統還可以根據需要，方便地修改和調整光刻膠圖案。在精度和速度方面，RF 3是無與倫比的，故障率遠低於其他系統。由於其最先進的多軸攝像機對準裝置,它還提供了高水平的可重復性和一致性。SOKUDO RF3還得益於一些旨在提高可靠性和減少停機時間的功能,包括高級殘余區域控制、自動過程監控和集成掩模驗證機。這使得它非常適合高可用性過程,例如LCD制造所需的過程。SOKUDO RF 3的設計滿足了從小批量原型制作到大規模生產等眾多客戶的需求。該工具提供卓越的性能和可靠性,能夠滿足最苛刻的要求,從高吞吐量和低體積原型設計到高精度、高復雜性陣列設計。