二手 SOLITEC 4110 #2862 待售

SOLITEC 4110
製造商
SOLITEC
模型
4110
ID: 2862
coaters / developers, 4 head.
SOLITEC 4110是專為高分辨率光刻行業設計的高端直寫光刻設備。該系統完全自動化,具有精確的機械定位、熱控制和光光質量控制能力。它能夠打印尺寸不超過12英寸的光掩模,非常適合更高分辨率的應用。該單元包括一個微幹燥器模塊,該模塊可快速、均勻地將光敏塗層輸送到所需的生產基板上。它還包括一個高端激光束寫入機與原子激光掃描儀設計,使超高分辨率光刻。該工具能夠打印高達90 nm的關鍵特征,並具有高達20 nm的覆蓋。它具有可編程的微調驅動器,以提高精度和靈活性。該資產還配備了光譜成像儀,用於同時監測光譜和光學質量。它能夠在兩個維度上進行高速掃描,用於快速塗層和檢查過程。該模型的自動圖像配準功能確保了每種基板的可靠結果。該設備還具有專用軟件,旨在提高制造工藝的精度和可控性。該軟件使用戶能夠快速修改激光的功率、速度和功能大小等參數。它還允許您輕松優化輪廓,保存輪廓並將其用於其他平版印刷過程。該系統的獨特之處在於它將高端光學技術與先進軟件相結合,使用戶能夠有效、可靠地生產出精度更高的光掩模。其能力使其成為光刻行業的理想解決方案。
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