二手 SOLITEC 5100 #293590413 待售

SOLITEC 5100光刻設備是專為發展微電子工業中精密復雜結構而設計的高性能平臺。這種光刻膠系統兼容多層，采用獨特的雙束光刻單元，創造出分辨率高、速度高、精度高的納米結構。它使用248nm和193nm激光輻射將所需的圖樣均勻地轉移到基板上，從而能夠更快、更精確地制造小型結構。該機器管理著高達每秒8個晶圓的高吞吐率，其桌面上有一個用於精確定位和基板傳輸的自動晶圓處理工具。該資產還支持雙面和橫向操作,為更復雜的應用程序提供功能。5100支持最新的抗蝕劑，用於對光電鍍和等離子體蝕刻等高度精確的微結構進行陣列化。它具有全面的用戶界面,能夠快速設置、調試和可視化過程的各個層。整個光刻過程由一個程序處理，消除了在進程之間轉換時出現錯誤的可能性。該模型包括高分辨率成像和超壓掃描等功能,可對小型結構進行精確的陣列處理。這是通過漫射光源來實現的，這確保了圖案化的特征是清晰、準確和可重現的。抗熱存儲功能還優化了整個基板上的圖樣均勻性。該設備的快速對齊器可自動校準焦點和傾斜,提高系統性能和對齊精度,從而確保打印過程的精度。SOLITEC 5100還具有過程控制功能,能夠實時監測和跟蹤光刻過程。5100光抗蝕劑單元是陣列微結構的理想選擇，並且由於其高性能和精確度，被廣泛的行業使用。其先進的技術、易於使用的界面和可靠的操作使其成為希望以高速和精確的速度制造高精度微結構的公司的理想選擇。