二手 SOLITEC 5100 #9207415 待售

SOLITEC 5100是一種專用於光刻膠處理的精密抵抗塗層設備。其設計在薄膜光刻塗層和曝光中提供卓越的均勻性和可重復性，是生產先進半導體器件的理想之選。堅固的系統采用集成的濾輪,可實現精確的薄膜塗層。濾輪可實現精確控制的液體輸送和分散，從而實現卓越的膜均勻性。此外,濾輪有助於最大限度地減少分散過程中溶劑的滲漏,從而保護底物.該單元還提供自動化,以增強流程的可重復性和可靠性。閉環機自動調整蠕動泵速、濾輪分配角度和特征間隙間距。這有助於確保每個塗層質量一致。5100與多種常見的光刻材料兼容，包括顯影劑和剝離劑溶液等材料，以及自旋和噴塗光敏塗層。該工具支持多個塗層壓力水平,以適應不同的粘度水平或材料要求。SOLITEC 5100配備了自動掃描曝光技術，可實現高質量曝光輪廓和清晰圖像。該資產提供高對比度、高分辨率的膠片圖像再現，即使在微米級精度。此外，功率優化確保了薄膜光刻塗層和曝光的精確均勻性。該模型采用集成的溫度控制設備，以確保整個加工周期的精確溫度調節。此外，還提供了一個環境圍欄，以提高安全性，系統可以配備冷卻套，以保護基板免受熱輻射。綜上所述，5100是為精密薄膜光刻膠加工而設計的先進抗蝕劑塗層單元。其堅固的設計可實現精確的液體輸送、均勻的塗層、受控的溫度和一致的暴露。這使得這臺機器非常適合生產先進的半導體器件。