二手 SOLITEC 5110 PD #9101861 待售

SOLITEC 5110 PD是為精密晶圓處理而設計的精密光刻設備。它具有獨特的三維曝光系統，可以精確曝光小而復雜的光刻膠圖案。該單元有一個用戶友好的圖形用戶界面，這使得它易於使用和設置了各種各樣的進程。該機采用雙層光學對準工具，確保曝光精確對準晶圓圖案。高精度的縮放資產可以準確顯示最小的細節。它還具有機動化聚焦模型，能夠自動聚焦晶圓表面，以保證高精度曝光。5110 PD的設計非常精確可靠。它具有廣泛的溫度設置範圍，範圍從-15°C到+50°C，允許處理最敏感的晶片而不會影響性能。此外,高級硬件和軟件功能與高級診斷相結合,可確保設備的可靠性和準確性。此外,SOLITEC 5110 PD還提供了獨特的靈活性級別。它具有一個可選的多目標曝光站,具有動態多階段曝光功能。這允許用戶在一個過程步驟中公開具有多個曝光系統的晶片的不同部分。該單元內置的高分辨率成像系統旨在捕捉高分辨率圖像中光刻屏蔽的最佳細節。此外,它還具有高級晶圓輪廓測量功能,可以準確估計晶圓尺寸、形狀和邊緣幾何。總之,5110 PD是一種高可靠性、高精度的光刻機.它結合了先進的硬件和軟件功能，結合獨特的三維曝光工具，使其成為精密晶圓處理的理想選擇。多重曝光站和動態多階段曝光能力增加了資產的多功能性和靈活性，高分辨率成像模型允許對光刻膠掩模進行詳細成像。