二手 SOLITEC 5110 #9363072 待售

製造商
SOLITEC
模型
5110
ID: 9363072
Spin coater.
SOLITEC 5110光刻設備是一種設計用於將光刻材料暴露在基材上的生產設備。它采用經典的光刻工藝,能夠產生高分辨率、高質量的電路模式,結果一致。5110是一個功能齊全的系統,由6軸光刻級組件、主控制單元和註釋單元組成。光刻階段組件由一個階段基座、兩個中間階段和一個微階段組成。所有的階段都可以單獨操作,機器的總行程範圍為25 x 25微米。舞臺與主控制單元耦合,主控制單元配有觸摸屏界面。這可以讓使用者精確控制舞臺的定位和運動,以及光刻膠過程的曝光參數。SOLITEC 5110附有多種可供處理的光敏材料,包括正負色調材料以及雙層材料。它還允許各種曝光時間,從0.2秒到1600秒不等,以及手動和自動制圖。此外,它還具有預編程的曲線偏置控制工具,可確保光刻膠均勻地預曝光。註釋資產允許用戶在曝光過程中準確、快速地註釋模式。此註釋模型非常可靠,其數據存儲在內部內存中。設備還提供各種對準功能,包括原位晶片對準和校正平面對準,以及旋轉和曝光前登記。5110系統易於使用,但精度和準確性都很高。對於那些需要高分辨率、短周轉光刻膠工藝的人來說,這是一個完美的解決方案。該單元完全自動化和可靠,在整個過程中提供一致的高分辨率和高質量模式。
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