二手 SOLITEC 5110C #9043475 待售

SOLITEC 5110C光刻設備是一個完全集成的光刻系統，用於將耐化學聚合物層精密沈積和蝕刻到基材上。用於高分辨率模式轉移和主動層開發。該單元以集成精密口罩的大型平板數字成像機、基於真空的舞臺工具和獨特的浸塗工藝為基礎。SOLITEC 5110-C資產能夠同時進行多層圖樣傳輸和蝕刻。它有兩種定義的配置-5120S和5140C。5120S型號為少數幾層設計，腔室尺寸可達10 「x 10」，而5140C設備增加了尺寸，腔室尺寸可達60 「x 30」。5110C系統設計有一個緊密集成的單元控制器，負責控制整個機器。此控制器將數字成像工具與舞臺資產連接起來。此外,它還包含多個算法控制器,通過控制沈積過程和其他關鍵參數（如蝕刻速率、層厚、基板溫度、氣體流速等）來確保平穩運行,5110-C模型還包括一種專有的激光直接成像（LDI）技術,使其能夠產生高分辨率的掩模模式。這是通過LDI和光致抗蝕劑過程的結合來實現的。LDI采用高精度遮罩的紫外線照射模式，然後通過基於真空的設備轉移到基板上。SOLITEC 5110C提供低至50 nm的圖樣傳輸和結構,在每一層提供精確且可重復的光阻圖樣。該系統還提供了高度的邊緣清晰度和高圖案密度，使其成為生產光刻的高度可靠和經濟高效的解決方案。SOLITEC 5110-C除了產生光刻膠層外，還可用於大範圍的二次處理，包括晶片鍵合、拋光、封裝，以及測量成品性能。總體而言，5110C光刻裝置是一種功能強大且高度可靠的高分辨率光刻解決方案，可用於多種基材和厚度，使其成為各種應用的絕佳選擇。