二手 SOLITEC S822 ACB #9354008 待售
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ID: 9354008
優質的: 2001
Dual track coater system
Manual and spare parts included
2001 vintage.
SOLITEC S822 ACB是一種先進的化學機械（CMP）光致抗蝕劑設備，用於各種蝕刻、沈積和平面化過程。它是為高精度的介電拋光而設計的，需要較低的汙染水平，以保持完美的平面。該系統采用氣墊帶（ACB）進行輕柔、低損傷的拋光，而其先進的光刻技術確保了一致的效果。S822 ACB由耐用且耐腐蝕的不銹鋼框架、2hp變速電機和重型運輸臺組成。該電機設計為提供平滑、可靠、均勻的運動,非常適合精密工藝。運輸臺設計用於拋光時牢固地固定晶片，並配有再循環漿液管理單元，最大限度地減少結轉，最大限度地減少加工過程中所需的產品數量。SOLITEC S822 ACB還配備了先進的控制機器,可精確控制壓力、機械/化學組合動作和拋光方向等基本參數。這確保了小型和復雜形狀零件的出色平面化。其先進的拋光頭設計適合各種晶圓尺寸,並具有主動冷卻工具,可最大程度地減少熱降解並保持加工材料的質量。S822 ACB設計用於各種光致抗蝕劑,包括有機和無機類型。這些材料提供了極好的蝕刻選擇性，使得更高的產量和更高質量的產品。其先進的漿液管理資產確保了拋光工藝的每一步只使用最優量，提供高效、經濟高效的操作。SOLITEC S822 ACB是高精度介電拋光的絕佳選擇。它強大的設計和先進的功能使其成為各種應用程序的可靠且經濟高效的選擇。其先進的光刻技術結合其精密的控制模型和拋光頭提供了出色的平面性、優越的產量和可靠、經濟高效的操作。
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