二手 SOUTH BAY TECHNOLOGY / SBT IBSe DD #293706496 待售
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SOUTH BAY TECHNOLOGY/SBT IBSe DD光致抗蝕劑設備是在半導體器件上生產精細分辨率、光刻圖樣金屬化層和蝕刻特征的最先進的系統。設備的全名是Imaged By SRM Scanning Exposure (IBSe或IBSE) Direct Deposition (DD)。SBT IBSe DD光刻機利用獨特的三點激光曝光技術,能夠將對準標記、透明膠片、蒙版和圖像精確定位到基材上。三點激光曝光技術是光刻工藝的組成部分,基於約翰內斯·古騰堡的凸版工藝。三點曝光策略可以將圖像與蒙版對齊並放置在基板上,從而創建所需的圖案。SOUTH BAY TECHNOLOGY IBSe DD光致抗蝕劑工具被設計為與諸如Shipley S1818和AZ1518等高靈敏度光致抗蝕劑材料以及其他焊膜和底漆一起使用。該資產具有自動和手動基板功能、自動更換刀片、可調基板方向和精確激光分級。為了進一步提高曝光過程的精確度,該模型具有自動調整功能,可用於邊緣到邊緣的陣列掃描功能,精度± 1 μ m。為確保耐用性,IBSe DD光刻膠設備采用耐用的鋁合金和鋼合金制成,耐腐蝕和高溫波動。所有系統部件都是為高抗振性而設計的,不需要定期的預防性維護。此外,該機組還具有內置加熱級和溫度控制功能,以提高穩定性。SOUTH BAY TECHNOLOGY/SBT IBSe DD光刻機因其高分辨率成像能力而被廣泛應用於半導體加工中,使複雜的光刻圖樣的製造具有非凡的精確度。該工具能夠使用各種類型的光刻膠材料進行操作,這也使得它成為許多應用的一個有吸引力的選擇。
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