二手 SPAMI Ace II #293660330 待售

SPAMI Ace II是由SPAMI Co.開發，用於工業半導體應用的完整光刻設備。該系統結合了多掃描激光曝光模塊、沖洗站和自動清潔單元，提供高通量和出色的步進覆蓋。Ace II機器的工作原理是使用激光曝光模塊將專利轉移到各種半導體晶圓尺寸上。激光曝光模塊由二極管激光陣列、同步掃描和精確定位控制組成。激光曝光模塊使工具能夠打印高度復雜和詳細的圖案,並具有極其精確的特征大小和線條寬度。沖洗站用於去除暴露後的光敏殘留。它包含一組可拆卸的PCB板,可插拔和播放集成到SPAMI Ace II資產中,並具有低壓沖洗沖洗壓力（RRR-P）流動檢測器,可防止光致抗蝕劑殘留物堆積和幹擾成像過程。自動清洗模型用於優化工序模具清洗操作。它包括一個用於精確基板定位的移動平臺，並有一個內置的清潔機器人，具有兩軸伺服驅動器，以提高清潔精度。自動清潔設備減少了工藝模具的停機時間,有助於提高吞吐量,同時還優化了擁有成本和光刻膠清潔度。Ace II光阻系統還支持模式鏡像、多層處理雙照明晶片設計、敏感厚度和焦點測量的晶片傳感器頭陣列等先進功能。它的模塊化設計簡化了安裝、維護和升級,同時以較低的擁有成本提供了卓越的性能和靈活性。