二手 SPECIALTY COATING SYSTEMS / SCS BH-1000 #9224861 待售

SPECIALTY COATING SYSTEMS/SCS BH-1000是一種高性能的光電抗蝕劑設備,旨在以最小的失真提供卓越的工藝控制和小光電抗蝕劑圖樣的均勻傳遞。該系統由幾個組件組成，包括一個計算機控制的計量單元和一個設計者控制的噴霧機，兩者都使用精確的霧化噴頭將光敏材料應用到所需的基材上。計量工具通過幾個功能提供了更高的效率、最小的復雜性和較低的浪費。它的連續運動將光致抗蝕劑沈積在基板上受控的均勻層中。這樣可以確保表面不會出現「凹坑」或分層,從而最大程度地減少缺陷。此外，它在料鬥中的大容量為4.5公斤的材料減少了頻繁重新填充的需要。測光資產還具有高度調節功能，允許從5微米到40微米的不同厚度的光刻塗層。噴塗模型設計為均勻分散光刻膠，即使在制作小圖案時也是如此。計算機控制的設備可以進行調整，以各種角度、攻擊角和覆蓋率噴灑，以滿足所需的應用。噴霧的壓力也可以調整，建立精確的材料數量，以加強對塗層工藝的控制。光致抗蝕劑材料經過特殊設計，可提供對基板的最大附著力，從而實現快速、精確的圖樣傳遞。該材料為交聯丙烯酸樹脂體系，即使經受高溫烘烤，也能輕且熱穩定。另外，它是親水性的，設計不會幹擾底物的電性能。計量單元、噴霧機、光刻膠材料的組合，為小型光刻膠圖案提供了優越的塗層均勻性和工藝控制。利用調整材料厚度的靈活性,SCS BH-1000提供了一種可靠且可重復的光刻工具,使快速、準確的傳輸成為可能。