二手 SPECIALTY COATING SYSTEMS / SCS BH-1000 #9249343 待售
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ID: 9249343
優質的: 2015
Parylene deposition system
With cryogenic system
Pumping system:
Oil pump: 2-Stage rotary pump equipped with Lu-style booster pump
Speed: ≥ 7000 L/min
Ultimate pressure: ≤ mTorr
Heating module:
Evaporation chamber: Tube, 8"
High temperature furnace length: 800 mm
Cracking pipe, 3"
Maximum amount of powder: 3000 g
Cavity module:
Stainless steel (SUS 304): 1485 kg
Door switch detector: (2) View ports (Each)
Internal dimensions:
Diameter ≥ 900 mm
Height ≥ 1000 mm
Rotating platform:
Architecture: Motor and reducer
Speed: 0.5 to 10 Rpm
Freezing capture system:
Large capacity condensing chamber: Capture up to 10,000 g
Vent system:
Atmospheric detectors
Overload relief valves
2015 vintage.
特種塗層系統/SCS BH-1000是一種專用的光刻設備.該系統利用稱為光刻劑的化學物質將光刻劑永久結合到基材上。SCS BH-1000是一種濕式光刻裝置，涉及各種基材的應用、開發和蝕刻。SPECIALTY COATING SYSTEMS BH-1000具有先進的Optilight 1000負光抗蝕劑,專門為消費電子行業的設備生產而設計。這種抗蝕劑采用了溫度穩定和紫外線穩定的技術，能夠分辨出小規模特征。Optilight 1000的設計使其能夠開發極小的特性,並具有卓越的分辨率,以及長期的散熱和紫外線穩定性。除了小特性分辨率的顯示，Optilight 1000還實現了額外的高對比度蝕刻速率，可用於以可靠的方式繪制非常精確的線條和設備。BH-1000還配備了先進的多功能/非洗滌劑化學通用開發人員（MF/NDC-Co 1）。該開發人員使用戶能夠持續開發Optilight 1000的功能,同時保護基板免受潛在的化學汙染。一旦開發出光電塗層，SPECIALTY COATING SYSTEMS/SCS BH-1000具有幹蝕刻-雙相二氧酸酯（DEB-B）蝕刻氣體。這種氯基氣體被設計用來蝕刻各種各樣的底物，並經過優化，以產生比其他蝕刻氣體更光滑的蝕刻表面。它還具有整個蝕刻過程中的熱和化學穩定性，從而形成了一個優越的蝕刻圖案。SCS BH-1000光刻機是廣泛應用的絕佳選擇，從消費電子和生物醫學設備到光刻和顯示器開發。其獨特的Optilight 1000抗蝕劑和專用的多功能/非洗滌劑化學通用一號（MF/NDC-Co 1）顯影劑和幹蝕刻雙氧合金（DEB-B）蝕刻氣體為用戶提供了一種一致可靠的方法，以實現非常小的特征分辨率，具有優異的熱和紫外線-穩定性，以及整個蝕刻過程的一致性。
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