二手 SPECIALTY COATING SYSTEMS / SCS BH-360 #9212683 待售
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SPECIALTY COATING SYSTEMS/SCS BH-360是為半導體和其他微電子制造工藝而設計的先進光刻設備。該系統由三個主要組成部分組成;一種光敏液體預塗層,一個光敏化學顯影站,和一個後塗層。預塗層用於均勻地在基板表面塗抹均勻的一層光致抗蝕劑液體。該層充當半透性屏蔽,允許光線穿透基板表面,同時也提供對基板的強烈附著。化學發展站用於對光刻膠液體進行幾種化學處理,改變分子結構以增強其粘合性能,增加其耐熱性、光性和耐化學性。接著,後塗層步驟被用來製造一個根據所需的形狀和顆粒量身定制的保形塗層。整個過程由計算機工作站上的專用圖形用戶界面(GUI)驅動,並配有多個配方,可根據需要進行調整,以最佳地將所需的處理條件與基板匹配。該單元還內置了幾個安全功能,以防止多余的光線損壞基板,提高最終結果的可靠性。光刻膠層是可生物降解的,使得工作後容易清理,消除有毒化學物質的潛在危險。總之,SCS BH-360光刻機是微電子和半導體制造項目中一種可靠可靠的解決方案。其完全可編程的圖形用戶界面、可定制的配方、可生物降解層以及多種安全功能提供了無與倫比的精度和保護,以確保最終產品獲得成功。
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