二手 SPECIALTY COATING SYSTEMS / SCS BH-360 #9248733 待售
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ID: 9248733
優質的: 2015
Parylene deposition system
With cryogenic
Freezing temperature range: ≥-85°C
Sensor: T-type
Ambient temperature range: 20~30°C
Refrigerant:
R507
R-23 R-290
Chamber:
Diameter: 360 mm
Gas molecular duct
Door diameter: ≥530 mm
Door thickness: ≥20 mm
Observation window
Rotating platform:
Carriers
Rotating speed motor
Architecture: Motor and reducer
Load capacity: 20 kg
Spinning speed: 0.5 - 10 RPM
Compressor: 50/60 Hz, Single phase, 1 HP
Power supply: AC 220 V, 50/60 Hz
2015 vintage.
SPECIALTY塗層系統/SCS BH-360是一種用於為微電子工業設計電氣元件的高分辨率「光敏」設備。光致抗蝕劑是一種特殊的聚合物,在暴露於紫外線下會發生化學反應。SCS BH-360系統由專用自旋塗層單元、集成計算機、UV光源和液晶顯示器(LCD)組成。光致抗蝕劑使用旋轉塗料機應用於電子元件,該機在表面塗上均勻的抗蝕劑塗層。光致抗蝕劑施用後,暴露於紫外線光源,導致光致抗蝕劑發生化學反應。這種反應導致光刻膠的電性能發生變化,從而使電氣元件能夠使用這一過程進行陣列化。特種塗層系統BH-360過程的下一步是開發過程,它可以去除光刻膠的暴露或未暴露區域。光致抗蝕劑的發展可以用各種溶劑如丙酮、甲基乙基酮或N-甲基吡咯烷酮來完成。經過開發後,對光刻膠進行硬化處理,以保護材料不受溫度、水分和其他環境因素的影響。抗蝕劑硬化後,就可以對組件進行陣列化了。這可以通過多種方式完成,具體取決於組件。構件圖樣的最常見方法之一是使用蝕刻工藝,利用電解質和電流蝕刻光刻膠的裸露部分。一旦組件圖樣化,可以添加額外的光刻膠層,直到達到所需的圖樣。SCS BH-360system是微電子工業的理想光刻工具,因為它非常精確,能夠產生非常精確的圖樣。紫外線的使用為制造電氣元件提供了一個安全和環保的過程,自動旋轉塗層資產確保了光刻膠的均勻性。該型號還提供了高度的靈活性,因為相同的光刻膠設備可以用於各種不同的元件和圖案。
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