二手 SPECIALTY COATING SYSTEMS / SCS P Coater #9093851 待售
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SPECIALTY COATING SYSTEMS/SCS P Coater是為了將光敏塗層沈積在玻璃和其他光學透明的基板上而開發的光敏設備。該系統由一個光源、一個控制器、一個采樣級和一個可互換濾波器輪組成。該裝置能夠產生厚度在1至50 nm之間的高分辨率單光子曝光模式。使用光束整形透鏡會降低所需的光束能量，而濾波器輪則創建光譜控制來選擇適當的光譜。SCS P Coater利用先進的6軸機器人級,允許大量樣品移動,同時將樣品保持在所需的焦平面中。光源提供了一個具有隨機訪問模式的高強度、相幹的光源，以產生變化的光照。控制器允許用戶設置曝光模式、選擇曝光時間、掃描區域以及在所需樣本區域上重復曝光。專用塗層系統P塗層設計用於在任何兼容的基板表面上塗覆光致抗蝕劑。塗層材料被入射光照射，引發化學過程，導致光敏材料在暴露區域變硬。此外，機器具有改變曝光水平的能力，允許創建高度優化的表面圖案。P Coater還通過一些有用的配件為用戶提供了靈活性。其中包括樣品加熱源、樣品持有者的選擇，以及用於選擇適當波長進行濺射的一系列濾波器。該工具還包括一個自動晶圓清洗站，用於清除樣品塗層過程之間表面的分散顆粒。總體而言，SPECIALTY COATING SYSTEMS/SCS P Coater是一種高效、高精度的光敏塗層沈積資產。其先進的技術簡化了塗層工藝設置，在塗層參數如曝光水平和光譜方面提供了靈活性。該模型適用於光刻行業的廣泛應用，能夠將功能層精確地沈積到不同類型和大小的基板上。
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