二手 SPECIALTY COATING SYSTEMS / SCS PDS 2060PC #9028348 待售
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ID: 9028348
Parylene deposition system
Includes:
2060V/PC base system
PDS 2060 mechanical chiller
PDS 2060 exhaust filtration
PDS 2060 9" chamber extension #1.
SPECIALTY COATING SYSTEMS/SCS PDS 2060PC是為先進的微電子器件和互連處理而設計的通用光刻系統。它由由樹脂、引發劑和溶劑組成的三組分溶液組成。光致抗蝕劑的主要功能是充當半導體材料的光刻和蝕刻的掩模,如矽、氙或砷。樹脂是一種交聯的水溶性化合物,起到初級蝕刻抗蝕劑的作用。它能夠承受微電子制造中使用的濕法和幹法蝕刻工藝。引發劑是一種有機化合物,有助於樹脂的交聯,進一步提高其蝕刻電阻率。溶劑用於稀釋樹脂和引發劑的混合物,以便更好地塗在材料上。SCS PDS 2060PC光刻膠系統可用於多種用途,包括但不限於對UV/可見微結構進行成像,創建電觸點,進行背景掩蔽,以及對厚膜進行圖案化。它能夠在一個步驟中應用和成像,因此可以實現快速可靠的設備制造過程。光致抗蝕劑易於開發和剝離,不需要氫氟碳化合物等有害物質,使其成為環保的選擇。光致抗蝕劑具有極好的熱穩定性,可以用各種光譜源進行曝光,從而可以很好地控制曝光。在接觸化學清潔劑時也特別耐開裂或剝落。這將優化過程的可重復性,使其成為創建可重現設備體系結構的理想選擇。專用塗層系統PDS 2060PC光刻系統用途廣泛,效率高,是先進微電子器件加工的絕佳選擇。它使用簡單可靠,是創建可靠和可重復結構的理想選擇。它能夠抵抗一系列幹濕蝕刻溶液,使得它在處理多層時是一個絕佳的選擇。其環保設計保證了設備制造過程的高效、安全使用。
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