二手 SPECIALTY COATING SYSTEMS / SCS Precision Coater #9135649 待售

SPECIALTY COATING SYSTEMS/SCS Precision Coater是一種精密的光刻塗層設備,專為具有光刻材料的基板的最佳和精密塗層而設計,非常適合微電子或光刻應用。該系統由於具有納米級均勻性和精確度的精密性能，經過高質量的拋光。它包括高精度泵和精密噴嘴的光刻膠分配模塊、自動控制塗層分配和均勻性的光刻膠應用模塊以及通過集成相機技術精確掃描塗層表面的掃描儀模塊。Photoresist Dispense Module配有直觀的圖形用戶界面,允許用戶設置所需的光刻膠體積、濃度和速度。該模塊還包含一個高性能的泵、閥和噴嘴，可提供高精度和可靠的結果。此外，ASEP-X玻璃毛細管配電泵提供了高度精確的配電參數，以實現納米級的均勻性和準確性。光刻膠應用模塊配有光刻膠應用臂和分配頭傾斜機構，可最大限度地減少邊緣效應，提供均勻的塗層分布。通過使用光學和電氣診斷技術來優化應用參數，塗層基板與光阻應用模塊的均勻性非常精確。掃描儀模塊可以高精度檢測表面缺陷和非均勻性。這通過內置的110°棱鏡實現，該棱鏡與相機模塊集成在一起。此外，掃描儀模塊還配備了一步不接觸片電阻測量，以便能夠即時監測和評估給定光刻膠層的成敗。總體而言，SCS Precision Coater是任何微電子或光子應用的一種特殊的光阻單元。由於其高精度的功能和允許優化性能的不同模塊,它提供了準確可靠的結果。這種光刻機經過驗證，對於各種基板和表面的小規模和大規模的光刻層沈積是真正有效的，使其成為任何精密塗層需求的理想選擇。