二手 SRD CT-302 #9301059 待售
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SRD CT-302是一種光致抗蝕劑設備,用於將抗蝕劑的薄層(低至5um)圖樣化和沈積到基板上。它是一個利用DUV輻射源的集成光刻系統,具有高達193 nm的波長,用於曝光薄至5 um的光刻膠。此單元具有步進電機、可調電源和電動控制器,可精確曝光基板。該機還包含一個ASML塗層/顯影劑單元,能夠潤濕和開發正片和負片。這允許創建高度精確和復雜的模式。步進電機可以精確控制焦點和曝光區域,並提供實時原型設計功能。刀具中的可調光源能夠對抗蝕劑特性進行詳細分析,從而能夠對陣列制作過程進行微調。該資產配備了高度敏感的光學傳感器,用於檢測基板位置和曝光時間的變化。它還配備了精密的電動控制器,用於步進電機和可調電源的精確運動。CT-302設計為用戶友好,具有直觀、用戶友好的圖形用戶界面(GUI)。這樣可以精確控制各種設置和過程參數。此外,其可靠和耐用的組件保證了一致和可重復的結果。這款光刻膠也是為了安全和易於維護而設計的。它有幾個內置的安全功能,如緊急停止按鈕和攝像頭來監控設備。它的零件也易於維修,在必要時可以快速維修。SRD CT-302匯集了高級光刻工藝所需的所有精度、準確性和性能。它非常適合無缺陷薄膜層的生產,是任何設備齊全的實驗室的一大財富。
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