二手 SSC BPE-2708-SP #9396918 待售
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SSC BPE-2708-SP是SSC開發的光刻設備。它是一個高效、功能齊全的系統,設計用於處理先進的基板,如金屬、玻璃和有機材料。它是一個無掩模、分光光束、近似限制的無掩模光刻單元。這臺光刻機具有非常先進的刀具設計和獨特的多級光刻方法。它部署了一個定制的石英玻璃投影鏡,可以消除預處理的抗蝕層的變形。這樣可以確保圖像形成均勻,並改善與目標材料的對齊。該資產與高分辨率對齊模型配合使用,該模型可快速識別底物錯位並自動校正這些錯誤,以確保您的底物被精確成像。該光刻設備具有多種特點,可用於先進基板的優化加工。它有兩種不同的光致抗蝕劑系統:一種用於加工厚基板,另一種用於加工薄膜。該系統還配備了一系列軟件工具,可實現無掩碼直接寫入光刻和近距離受限的無掩碼光刻。此外,該系統還具有高精度樣品移動和晶圓制備的特點。該單元可容納4英寸的最大樣本量,並具有可調節的曝光區域,具有精確的激光感應圖樣。曝光分辨率可高達9500ppi,可實現對小基板特征的高分辨率成像。它還配備了冷卻機以實現更高效的曝光,從而提高整體吞吐量和光束穩定性。總體而言,BPE-2708-SP是一種高度先進和高效的光刻工具,專門設計用於處理先進的基板。其功能豐富的設計可實現精確曝光的快速基板處理,並為高保真度圖像提供出色的無掩碼直接寫入成像分辨率。其獨特的設計,加上其軟件工具,使這一光刻膠資產成為高端應用的理想選擇。
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