二手 SSI 150 #9228957 待售

SSI 150
製造商
SSI
模型
150
ID: 9228957
晶圓大小: 6"
Coater track system, 6" With input cassette Oven Chill plate.
SSI 150光敏設備是一種半自動系統,旨在提供可靠準確的光敏材料處理。光敏材料是用於制造微電子元件和器件的一種基材。150所做的工作是,首先允許光刻膠材料通過化學調節室,然後在單獨的通過過程階段處理基板的頂部和底部。第一個加工階段涉及紫外線光源的應用,該光源激活光刻膠材料並為進一步加工做好準備。一旦材料暴露在紫外線下,就會在基板和光源之間放置一條光刻膠條,又稱光掩模。這種光掩模的作用就像一個模具,阻擋材料的某些部分,同時暴露其他部分,這取決於它的特性。基材暴露於光掩模後,再放入烤箱進一步處理。基板經受烤箱後,通過冷卻隧道,之後陷入發育室內。這個腔室包含一個專門設計用來溶解暴露的基板某些部分的溶液。以這種方式,殘留在基板上的光刻膠層被精煉並整合成所需的形狀。最後,基材通過沖洗室,在該室中清除了先前加工過程中殘留的任何殘留物。經過這一過程,光刻膠基板準備用於微電子元件和器件的創建。SSI 150光刻裝置為微電子元件和器件的生產提供了準確可靠的工藝。這臺機器可確保光刻膠材料達到所需的形狀和尺寸,且浪費最少,與人工生產和加工方法相比,它具有很高的成本效益。此外,該工具還確保所有光刻膠基板都符合工業規格,從而形成一個一致和可靠的產品。
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