二手 STEAG Cluster 421 #9136000 待售

製造商
STEAG
模型
Cluster 421
ID: 9136000
優質的: 1995
Microtech coater / developer Coater-module with wafertec-pump, EBR I/O-Station with separate input and output (1) Cool plate mounted on Stack (2) Hotplates Robot for wafer transfer Chiller to support cool plate (1) Box of spare parts 1995 vintage.
STEAG Cluster 421是一款光刻設備,設計用於大體積、高精度生產平面和圓柱形透鏡,以及光電元件。它利用曝光資源來模擬各種類型的光學儀器特性,並利用光刻工藝在基板上創建不同的結構。群集421提供卓越的精度,其光斑尺寸為50 mm (1.97 in)。光致抗蝕劑系統設計用於容納多種基板,包括無定形和結晶材料,以及所有類型的石英、玻璃和塑料表面。STEAG Cluster 421還支持各種不同表面形狀的基板,非常適合復雜的光學制造。光致抗蝕劑單元包括一個打印頭,可用於將光致抗蝕劑材料塗抹到基板上,以及顯影機,可用於開發光致抗蝕劑材料。開發工具配置為以高開發速度提供高分辨率的結果,使其適合大批量生產。聚類421還包括控制曝光和開發過程的工具,使用戶可以根據自己的具體需要定制光刻膠資產。例如,用戶可以選擇正確的曝光資源以確保獲得最佳結果。光刻膠模型還具有控制顯影劑溶液溫度的能力,允許在開發過程中提高精度。綜上所述,STEAG Cluster 421是專門為大批量生產光學元件而設計的光阻設備。它提供了極好的精度和速度,和光刻材料可以量身定制,以適應各種基材。此外,用戶有能力控制接觸和開發過程,確保取得最佳結果。
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