二手 STEAG Marangoni #138851 待售

STEAG Marangoni是一種現代光阻設備，用於半導體、MEMS等微電子制造工藝。它由一種特殊的致敏乳液組成，應用於基板，通常是矽片，以使其對激光曝光更敏感。乳液由有機堿的水溶液和含有光活性化合物的化合物組成。當底物受到激光照射時，這些化合物迅速解離，形成進入光化學反應的自由基，在底物上形成氧化鋁膜。Marangoni光刻系統的設計提供卓越的光刻效果，具有卓越的精度和一致性。該單元生產的氧化鋁膜厚度和表面高度均勻，與基板地形緊密相符。這種精確度是由於在基板上添加了高質量的抗反射塗層，以及光刻膠乳液的高精度沈積。STEAG Marangoni光刻機除了提供卓越的光刻效果外，還具有出色的附著力和熱穩定性。氧化鋁膜與底物的粘附性能極佳，使光刻膠膜保持牢固附著。光刻膠的熱穩定性使其能夠承受高達300℃的溫度，而不會產生明顯的附著力損失。Marangoni光致抗蝕劑工具可以廣泛應用，包括生產半導體器件、MEMS器件和其他微電子元件。它特別適合制造具有高長寬比特征的半導體元件，如溝槽、凹槽和空腔。其優異的光刻性能和較高的熱穩定性使其成為微電子制造應用的理想選擇，要求精度和可靠性。