二手 STEAG Marangoni #293746452 待售

STEAG Marangoni是一個先進的光阻和成像平臺，旨在實現集成電路（IC）制造工藝的更高精度和更快的上市時間。它是STEAG的Production Plus系統套件的一部分。該平臺使用戶能夠快速成像晶片,其臨界尺寸高達1 μ m。它提供了極佳的圖像保真度和均勻性,並具有最小的光照劑量和曝光時間.該設備專為滿足各種IC的高級設計要求而設計,包括邏輯、內存和混合信號應用。通過對光子能量和光照的精確控制,Marangoni能夠以最小的廢料或鏡頭到鏡頭的變化實現可靠的工藝結果。該平臺包含一個工藝室和一個真空系統，支持光刻膠層的應用和對工藝參數的更高層次的控制。然後將晶片放在工藝室內的平移臺上，並與工藝氣體適當隔離。為了確保性能一致,平移電動機提供了一致的定位、旋轉表和穩態加速度。這樣可以確保更高的過程精度和過程時間的穩定性。晶圓對準過程由電機驅動單元支持,該單元精確到1 μ m,記錄超過2,000個數據點的絕對位置。然後將光掩模放置在晶片上,以確保精確的激光束成像。STEAG Marangoni Machine配備了先進的照明子系統，一個快速重復速率的閃光燈，每分鐘最多提供10次閃光。光強度通過高級傳感器進行監控,從而可以更好地控制過程。它還包括用於監控溫度和其他參數的集成診斷控制,以及用於確保所有樣品都得到充分處理的樣本驗證模塊。有大量的清潔劑和氣體庫，可根據需要加以應用，以優化工藝。高級軟件包進一步增強了平臺的映像功能。該軟件提供了更精確的成像和更高的工藝產量,從而能夠與生產自動化系統進行更大程度的集成。它還包括一個校準算法，可以自動調整成像參數，使過程結果一致。基於先進的激光感應等離子體充電（LIPC）成像和晶圓定心技術，Marangoni的成像工具提供了市場上可用的最高精度和產量。STEAG Marangoni平臺將先進技術與更高水平的自動化相結合，提高了IC生產過程的準確性和可擴展性。為了改善剪切和附著力，光致抗蝕劑可以在晶片上的兩層或兩層以上，使用較少的光照時間和較短的曝光時間。資產甚至還可以處理最困難的材料，包括高長寬比圖案和亞微米尺寸。Marangoni以其獨特的先進技術和自動化結合，是任何IC制造操作的寶貴補充。