二手 STEAG / MATTSON / AST Marangoni #293595304 待售

STEAG/MATTS/AST Marangoni光刻設備是一種高度先進的光刻方法，用於制造電子元件和器件。它利用幾種工藝的組合--包括曝光和反應性擴散--來暴露和開發一種被光刻膠覆蓋的基板，然後將其用於繪制所需的結構或特征的圖樣。AST Marangoni光刻膠系統由兩個獨立的反應堆組成，簡稱WaferProcessor和SoftBake Oven。WaferProcessor是一臺計算機控制的機器，將光刻膠分子對準基板表面，創建所需的曝光模式，並發展光刻膠層。曝光和顯影過程是通過將基板暴露在指定的光照和反應性擴散模式下來完成的。然後使用SoftBake烤箱完成陣列制作過程。在此過程中，基板在烤箱中加熱到指定溫度，設置為預定義的曝光時間，然後在基板的不同部分之間產生受控的熱梯度。這種熱梯度允許選擇性形成所需的圖樣，而無需對光刻膠層進行任何修改。STEAG Marangoni光刻機的最後一步是後烘烤，利用高溫烤箱活化光刻材料。該激活過程確保光刻膠圖案在蝕刻和其他制造過程中保持完整，並準確復制所需圖案。總之，Marangoni光刻機是一種先進、可靠的光刻方法，用於制造電子元件和器件。這種方法結合了暴露、反應性擴散和烘烤後過程，以獲得準確的模式和特征。設置的尺寸相對較小,成本較低,因此此工具適用於各種大批量生產過程。