二手 STEAG / MATTSON / AST Marangoni #9184982 待售

STEAG/MATTSON/AST Marangoni光刻設備是一種化學過程的組合，用於通過光刻在基板上產生高分辨率圖像。光刻是一種利用光蝕刻或以其他方式將掩模的形狀轉移到底層基板上的方法。AST Marangoni系統使用光敏抗蝕劑執行此操作。抗蝕劑通常作為懸浮在液體介質中的聚合分子的水溶液供應。當暴露在光線下，分子會變成交聯，形成沈積在底物上的聚合物膜。這種薄膜對化學和物理性質都有很強的抵抗力，能夠定義一種模式。STEAG Marangoni單元利用三個獨立的階段，每個階段在創建底層模式時都能最大限度地提高圖像分辨率。第一階段，將氫氟酸等蝕刻溶液塗在基材上。該解決方案用於修改基板表面並形成微觀凹坑。第一階段為後續光刻步驟的堅持提供了必要的粗糙度。在第二階段，光致抗蝕劑被塗在基板上並允許流動。這個階段對於在基板上創建一個均勻的層很重要。MATTSON Marangoni機利用表面張力和擴散的結合，確保光刻膠完全附著在基板上。在最後階段,使用配置的掩模將光刻膠暴露在光線下。這就是光致抗蝕劑暴露在外並與光反應引發分子交聯的地方。Marangoni工具結合了高分辨率光學器件和計算機控制的對準裝置，以確保掩模正確對準。一旦交聯完成，交聯分子在表面形成均勻的層。這會保留遮罩上的圖案,並在底層基板上提供統一的影像。在這一過程之後，通過使用濕蝕刻去除不需要的區域中的光刻膠進一步發展圖樣。STEAG/MATTSON/AST Marangoni光刻資產是一種高度專業化和有效的光刻技術,可在各種基板上產生可靠和準確的圖像。它利用三個不同的階段來保證表面有一個均勻的光敏層。此外,它還利用高分辨率光學器件來確保掩模正確對齊。該模型被證明是一種可靠有效的光刻技術，在電子工業中得到廣泛應用。