二手 STEAG / MATTSON / AST Marangoni #9267094 待售

STEAG/MATTSON/AST Marangoni是一種光刻設備,其開發目的是在各種表面上實現精密蝕刻和圖案。它采用紫外線照射和曝光後熱處理的精密組合，準確溶解基板的目標區域。光敏材料以液體的形式應用於目標區域。暴露在紫外線下，液體的暴露部分變成固體。經過輻照後，使用定制的AST Marangoni應用系統熱裝置（MASTU）加熱樣品。這個過程使反應的光致抗蝕劑以受控方式溶解。為確保未輻照材料不受影響，必須使用先進的熱控制裝置精確調節熱量。這一過程使得高而薄的結構能夠進行微加工，這正是在預期的地方，而且具有很高的垂直保真度。它還允許形成細角和微通道，以及對抗蝕劑厚度的精確控制。STEAG Marangoni特別適合薄膜裝置結構，如MEMS（MicroElectroMechanical Systems）和NEMS（NanoElectroMechanical Systems）。它在醫療設備、能量收集和傳感器等其他領域也非常成功。Marangoni既適用於大面積也適用於小面積的光刻膠圖案。它不僅是一種極具成本效益的方法，可以精確繪制各種材料的圖樣，而且也是一種無害環境的解決辦法，不需要使用任何危險化學品。最後，MATTSON Marangoni是一種可靠的機器，能夠以經濟有效和安全的方式實現精密蝕刻和圖樣。它可以用於廣泛的應用，其高精度和無毒技術正在幫助使創新設備制造更容易和更高效。