二手 STEAG / MICROTECH ElectroDep 2000 #9256741 待售

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ID: 9256741
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
Plating tool, 8" Process: Pb / Sn Hardware configuration: SMIF System: Manual cassette load Handler system: GENMARK Robot with pre-aligner (3) Reservoirs Chillers GENMARK Robot CIM: SiVIEW 2000 vintage.
STEAG/MICROTECH ElectroDep 2000是一種可靠和先進的光刻蝕刻設備。該系統專為細線電路的形成和敲擊而設計,能夠產生3 μ米以上的電路特性。適用於廣泛的基材,如矽、玻璃、陶瓷等。該單元將濕蝕刻工藝和真空沈積結合在一個平臺上。STEAG ElectroDep 2000包括最先進的數字成像技術,可實現高分辨率成像和拍拍。該機配備了世界上最好的圖像處理算法,具有先進的圖像識別能力。強大的軟件允許精確處理高精度和低缺陷的復雜模式。該工具包括一個精密的抗蝕劑旋轉器、一個熱交聯器、一個真空沈積室和一個裝卸站。抗蝕劑旋轉器快速旋轉基板,均勻應用光敏材料.熱交聯劑將圖樣化的基板暴露在紫外線下,使抗蝕劑變硬。真空沈積室將圖樣化的底物暴露於金屬離子,然後進入真空過程,形成所需的導電膜。裝卸站為樣品的高效和安全移動提供了條件。MICROTECH ElectroDep 2000產生直徑小於3 μ m的極薄電路軌跡,以滿足半導體器件設計的要求。該資產以自動化的方式提供了最高質量的結果,無需人工幹預。先進的數字成像和處理功能使該模型成為原型設計和生產要求的理想選擇。總之,ElectroDep 2000是生產高精度細線電路的強大設備。其先進的成像和處理算法,加上多功能性和魯棒性,使其成為廣泛蝕刻應用的絕佳選擇。
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