二手 SURFTECH / DAEDALUS Star4 #293608633 待售
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ID: 293608633
Ion coating system
Coating technology:
Special coating recipe: AlTiCrN, TiSiN, TiN, CrN
Process chamber:
Type: Stainless steel double walled chamber with shutter
Chamber size: 900 x 850 mm
Usable plasma zone: 600 x 550 mm
Arc source:
Deposition source: (4) Circle cathode targets, 6"
Power supply: (4) Digital DC power supplies
Auto trigger detection system
Pump:
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER Turbo molecular pump, 1500 L/s
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER Primary pump, 65 m³/h
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER Booster pump, 250 m³/h
Vacuum measure:
SUCO Piezo gauge
(2) ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER Pirani gauges
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER Penning gauge
MKS Baratron Gauge
Gas control:
MKS Mass Flow Controller (MFC), Ar and N2
(2) Heaters, 18 kW:
Measure: (2) Thermocouples
PID Temperature controller
Substrate and carousel:
Carousel: 580 x 600 mm
Loading capacity: 500 kg
BIAS Power supply: Integrated ARC suppression, 15 kW, DC 1000 V, 25 A
Touch panel PC, 17"
Power supply: 380/400 V, 50/60 Hz, 45 kW, 3-Phase.
SURFTECH/DAEDALUS Star4是一種主要為精密商用半導體光刻設計的高性能光刻設備。光敏材料是用於制造半導體器件和電路的光敏材料。SURFTECH Star4提供卓越的均勻性和過程穩定性,其最佳分辨率可降至0.1 um。DAEDALUS Star4具有獲得專利的Quad Light Source™,它發出極均勻、寬廣的UV光譜,以實現卓越的工藝一致性。它與先進的光學器件相結合,具有優異的光均勻性和更高的吞吐量.Star4還提供了一個高精度晶片級，用於精確、可重復的對準和聚焦。SURFTECH/DAEDALUS Star4包括廣泛的過程控制和收集功能。該系統提供了一個選擇機器人或手動加載和強大的控制器管理配方和可重復的過程。內置軟件系統提供分析和數據保留功能,使操作員能夠通過實時分析查看和調整配方。此外,可選配用於精確聚焦控制的電動光學器件進一步加快了工藝開發,提高了精度.SURFTECH Star4還配備了流程控制,可提供高吞吐量和透明的設備設置點訪問權限。內置缺陷檢測系統在優化前檢測出超出規格的產品,從而提高產量。該設備可以輕松集成到工廠現有的產品線中,從而實現快速集成。DAEDALUS Star4易於操作、維護和升級,有多種適合任何應用程序的選項。該機還通過屏幕上和屏幕外的方法提供診斷信息，以及適合各種用戶的大型深度資源庫。該工具設計為超過SEMI 2000光刻標準。總體而言,Star4是一種功能強大的光阻資產,可提供強大的性能、過程控制和可重復的一致性。出色的分辨率、可靠的缺陷檢測和延長使用壽命的特性保證了模型適合任何半導體生產需要。
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