二手 SVG 16233 #9397148 待售

SVG 16233是由Specialty Verification Group（SVG）製造及銷售的光刻膠設備。它是設計用於半導體和微電子應用的雙組分水基光刻膠系統。該單元提供了一種在晶片上形成薄而均勻的聚合物屏障的方法。16233由兩個組成部分組成：一個敏化劑和一個抗蝕劑。該增敏劑是一種有機化合物的溶液，被設計成被吸附在一種底物的表面，如矽片。在使用敏化劑後，基板會暴露在光源下，通常是紫外線。光導致發生化學反應，敏化劑轉化為不溶於標準溶劑的聚合物結構。這種聚合物結構被稱為抗蝕劑。SVG 16233光刻機形成的抗蝕劑是晶圓上方薄而均勻的屏障。薄薄的抗蝕劑層可以用來保護晶片的摻雜層免受化學蝕刻。抗蝕劑還可以在制造過程中用作掩模，同時提供對陣列電路更好的地形控制。抗蝕劑形成的屏障也能防止使用層較厚的光刻膠系統時發生的二次氧化。16233被設計為易於在光刻應用中使用。這兩個元件與標準的微掩碼技術兼容，該工具可以通過自動旋轉塗層來應用。此外，資產提供了良好的抗蝕劑和基板之間的附著力，這使得可靠的提升面罩和電路。該模型在高溫下也是穩定的，對後續的加工步驟具有化學抗性。SVG 16233是一種直截了當的光刻設備，適用於各種半導體和納米加工工藝。該系統由兩個組件組成，易於應用，並提供一致的碳基抗蝕劑。薄薄的抗蝕層在制造過程中能提供良好的附著力和地形控制，同時也能保護晶片免受氧化和蝕刻。