二手 SVG 800 #293639165 待售

SVG 800
製造商
SVG
模型
800
ID: 293639165
晶圓大小: 6"
Coater / Developer system, 6" 1995-1996 vintage.
SVG 800是一種光阻系統,旨在幫助產生非常精確的電路。800提供正負光抗蝕劑技術,實現電路設計的納米級精度。它是為創造一貫準確的零件,並在亞微米級提供準確性和可重復性而構建的。SVG 800由一個特殊的光源、一個旋轉的UV光盤和一個精密的遮罩對準級組成。光源能夠在標準角度和斜角之間切換,從而實現更精確的光束放置和更高的分辨率。光盤具有透射曝光區域和反射場發生器,負責在曝光區域內均勻劃分曝光能量。曝光區域進一步分為幾個子區域,從而提高了曝光的準確性和可重復性,特別是在亞微米級。遮罩對準級負責將基板和基板相對於光源精確定位。對齊階段的功能類似於水平平臺,允許基板和基板面膜被精確移動和旋轉。基板和基板掩模是手動移動的,這使得不對準的風險最小化,同時仍然允許高度的精確度。整個系統由一臺電腦供電,負責控制和數據處理。計算機負責控制光源、光盤轉速和曝光區域位置。它還負責控制遮罩對準階段,其中包括x、y、z運動階段和旋轉機構。計算機還記錄曝光參數並處理曝光數據,以確保電路的每一層都正確準確地曝光。800是一個強大可靠的光刻系統,可以幫助工程師和設計師創建高精度、可重復和納米級的電路。它易於使用,其精確度和可重復性使得它成為那些需要高度精確度和可重復性的人的絕佳選擇。
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