二手 SVG 8028 #9396689 待售

SVG 8028是一種光刻設備，設計用於納米級結構的自動光刻處理。它是一種可靠的脈沖尺寸敏感系統，使用聚肉桂酸乙烯酯（PVC）作為鈍化材料。該單元具有廣泛的選項和極其精確的參數控制。8028由兩個主要組件組成：光源模塊（LSM）和帶有UV固化室的掃描電子顯微鏡（SEM）。機器可以通過圖形用戶界面設置和操作，同一軟件控制LSM、SEM和UV固化室。掃描電子顯微鏡（SEM）用於對具有高分辨率和低壓電子束的結構進行成像。該工具能夠將分辨率降至亞納米級。隨著電子束沿著結構運動，抗蝕劑沈積在表面，然後在紫外線固化室中固化。固化抗蝕劑提供絕緣層。SEM的放大倍數可達500倍,可分析復雜的3D結構。SEM用於評估平面和地形的詳細特征。光源模塊（LSM）是用於照明的外部光源。它提供了一個參數可變的單色光束，包括功率、偏振、角度入射和波長。LSM提供多種選項,例如多入射角、偏振光、可變光束光斑大小、激光束聚焦和暗場/明場照明。它已被證明是可靠和非常有效的自動化光刻處理。UV固化室與LSM和SEM結合使用，在加工過程中產生性能高、性能穩定的抗蝕劑。固化室有一個精確的溫度控制，允許高度穩定的抵抗材料。該室還配備了聲波壓電資產和內置真空模型，以確保有效的治療。SVG 8028是納米級加工領域中用途極為廣泛的設備。它提供了對各種參數和各種工藝選項的可靠和準確的控制。該系統能夠產生高精度的三維結構，為復雜的納米結構提供出色的分辨率。此外,它具有成本效益,並且需要最少的維護。