二手 SVG 81 #9302570 待售

SVG 81是為了使各種裝置生產過程的性能而開發的光刻膠設備。該系統經過專門設計，允許在半導體晶圓材料如矽、砷、鎢和多晶矽之間進行蝕刻、平面化和挖溝。81通過使表面的光刻膠層暴露於高度專業化的光源所產生的快速紫外線輻射中來操作。這種紫外線輻射作用於在光致抗蝕劑的分子中產生化學變化，使得構建不同厚度的層成為可能，以便在表面上實現所需的圖樣。在受到紫外線輻射後，晶片被轉移到蝕刻室，在那裏使用適當的蝕刻劑去除了交聯程度較低的材料。一旦創建了所需的圖樣,將使用蝕刻後幹洗步驟清除蝕刻過程中殘留的殘留物或顆粒。SVG 81單元還提供了在暴露的晶片上沈積平面化層以獲得更均勻表面的能力。這使得產生更平滑的曲面和更可靠的設備成為可能。此外，81可以根據所施加的紫外線照射強度獲得不同大小和形狀的孔或溝槽。SVG 81機器由幾個主要部件組成。這些組件包括光電陰極電源、光源、成像工具和環境控制。光電陰極電源用作產生光刻膠圖案所需的特殊紫外線輻射的電源。光源用於提供所需的紫外線輻射，而成像資產則控制整個晶圓上圖案的均勻性。最後,環境控制調整溫度和密度.81型有多重優勢。設備可靠、經濟高效、節能。此外,該過程是非侵入性的,這意味著它不會從其他過程（如蝕刻和平面化）中消失。最後，SVG 81與廣泛的晶圓材料兼容，使其成為廣泛使用的系統。