二手 SVG 8132 #9123207 待售
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SVG 8132是一種用於微加工和光刻的下一代幹膜光刻設備。它旨在為各種光刻工藝提供先進的定義,具有足夠的靈活性和魯棒性,並且能夠經濟地達到最佳的光刻性能。開發8132是為了確保堅固而準確的基板對準、圖樣清晰度和高分辨率成像而不折不扣。它是一種極可靠可靠的光刻系統,保證了良好的成像精度和優異的基板均勻性。此外,SVG 8132還支持多種材料和制造技術。8132有吸收劑或較厚且吸收性較低的抗蝕劑配方,可實現復雜的微加工和超高分辨率成像。這些抗蝕劑制劑可確保在整個過程中具有較高的光致抗蝕劑覆蓋率。此外,它還能提供盡可能高的對比度和分辨率,並能夠在高溫和侵略性蝕刻條件下生存。而且,SVG 8132優越的蝕刻阻力能力使得它成為高長寬比的誘人選擇。此外,光致抗蝕劑單元消除了塗層缺陷,這使得它適用於CMOS(互補金屬氧化物半導體)結構。此外,還報道了這種抗蝕機對各種金屬具有良好的抗刮擦和抗貼片性能。8132由於具有更高的均勻性和更快的成像順序,也提供了優於濕膜光刻劑的基材。此外,其優越的光敏度使得它適合多光刻曝光。最後,SVG 8132的設計提供了卓越的附著性能,使晶片的清潔度和均勻層覆蓋。總之,8132是一種下一代光刻工具,適用於各種微加工和光刻應用。它提供了出色的定義、一致性和對比度,同時還能在具有挑戰性的蝕刻條件下生存並與各種材料兼容。此外,它的設計是可靠和經濟足夠的最佳光刻性能。
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