二手 SVG 8136 #9396684 待售

製造商
SVG
模型
8136
ID: 9396684
晶圓大小: 5"
(4) Coater / (3) Developer tracker system, 5".
SVG 8136是一種高性能的光刻膠,專為雙圖樣和浸入式光刻等先進光刻工藝而設計。8136是一種用聚合物和添加劑的專有混合物配制的負音抗蝕劑,以提供優越的分辨率、均勻性和加工穩定性。通過創新技術的運用,SVG 8136光抗蝕劑使雙圖案化過程能夠實現低於100 nm的特征分辨率。抗蝕劑被設計成具有很高的膠片性,並確保出色的濕工藝均勻性,使開發人員能夠準確可靠地制造復雜的結構。聚合物混合物的設計旨在提供更好的耐水性,並確保在整個光刻過程中出色的機械性能。抗蝕劑可與異丙醇、丙酮等化學物質一起使用,快速高效地發展特征。精細的抗蝕劑配方有助於最大限度地減少化學抗蝕劑損失,從而為高級應用提供可靠的成像性能。使用8136光致抗蝕劑的另一個好處是,它旨在減少汙染,最大限度地減少後處理過程中產生的粒子。這種抗蝕劑具有類似夾克的有機層,可確保低顆粒,減少汙染,並為要求苛刻的圖案提供可靠的圖案。一般而言,SVG 8136光抗蝕劑設計為提供具有最佳分辨率、均勻性和處理穩定性的先進光刻工藝。該抗蝕劑具有高膜性強、防水性強、顆粒生成低的特點,適用於先進的設備制造應用。通過提供出色的成像性能和可靠的後處理優勢,8136光刻膠使開發人員能夠以更高的精度和精確度產生更精確和復雜的結構。
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