二手 SVG 86 #9163180 待售
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單擊可縮放
ID: 9163180
晶圓大小: 6"
Double coater, 6"
Semi flat wafers
Cassettes: Fluor ware
Coater wafer direction: Left to right
Coater with MYKROLIS IntelliGen 2 Pump
Coater exhaust with auto-damper
Hardware:
SMC Digital vacuum sensor
Coater bottom EBR with flow meter
Does not include:
Coater with catch-cup-rinse
Thru-track interface to pe micralign riro
MICROBAR chemical cabinet
CTD
CTR
Vacuum bake wafer prime
Coater spinner with servo pack
Coater dispense line with flow meter
Coater top EBR with flow meter
Coater catch-cup-rinse with flow meter
ADS Resist reservoir system
No automation
Power supply: 415 VAC, 3 Phase
2010 vintage.
SVG 86是矽谷集團（SVG）為半導體工業開發的光阻設備。它是一種單張照片,可流動的抗蝕劑,可提供出色的打印效果,具有可靠的邊緣分辨率和曝光緯度。該系統由光敏材料、圖像掩模、光敏顯影劑溶液和化學處理單元組成。在使用中，光致抗蝕劑材料被應用到半導體晶片的表面，並暴露在來自圖像掩模的紫外線（UV）光下。光線使抗蝕劑的某些部分溶解，而其他部分則保持完整。其余部分形成將被轉移到晶圓上的圖案。86旨在產生材料厚度一致、邊緣分辨率均勻的高分辨率圖像。它具有低光靈敏度，意味著它可以在高強度的光線下曝光，同時仍然產生幹凈、精確的圖像。抗蝕劑還具有優異的耐化學性能，耐漂白、耐腐蝕、耐蝕刻。SVG 86用於許多不同的半導體製造過程。它用於創建微機電系統（MEMS）、微控制器和集成芯片組等一系列組件。它也被用於生產光阻、薄膜晶體管和發光二極管（LED）。此外，它還被用於制圖太陽能電池和光伏電池。該機非常適合高容量、高精度的制造。常用於先進材料的製造中，如應變的矽、氙、復合半導體、納米結構等。該工具易於使用,需要最少的操作員培訓。86被設計成一種經濟實惠的光刻膠溶液，適用於各種各樣的半導體應用。高可靠性，缺陷率低，產量高。這使其成為大批量生產的理想選擇,並增強了成品設備的可靠性和性能。
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