二手 SVG 860 #9238247 待售

SVG 860是尼康儀器有限公司的先進光刻設備，用於微機電系統（MEMS）裝置制造中的圖像傳輸和圖樣制作。它是為多晶矽、聚酰亞胺和負性抗蝕劑等多種材料設計的集成沈積、自旋塗層和曝光工具。860以最先進的成像技術為基礎，配備了高NA（數值孔徑）光學浸入系統、高精度級、空氣軸承微旋傾斜器、先進照明單元。它還提供了一系列可以微調的塗層參數，以確保達到精確的薄膜性能。機器依靠兩級自旋塗層工藝，沈積和暴露以不同的步驟發生。第一步是沈積，將精確量的光敏材料施加到基板表面。然後,將基板以精確的速度旋轉,形成均勻的薄膜.經過紡絲過程，基材被移到第二階段進行曝光。在曝光階段，光學浸沒工具發出的光照射到基板上並精確圖案。然後根據暴露條件有選擇地去除或改變生物光致抗蝕劑層。這種曝光的方法創造了各種精確形狀的特征，具有出色的分辨率。SVG 860還允許對測試芯片上的光刻膠膜厚度進行在線檢查和測量。這使得廠商可以在不拆卸和清潔腔室的情況下測量薄膜的厚度，加速過程並增加吞吐量。由於其精度、精密控制和易於操作，光刻資產被設計為與半導體和MEMS制造中的大體積光刻工藝兼容。該模型是為可靠性而設計的,需要最低限度的維護才能提高生產率。這種先進的光刻設備可確保在MEMS芯片上創建高精度、高分辨率和可重復性的功能。